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產(chǎn)品展示
5系列BESTACE 5系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
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- 生產(chǎn)地址：
- 瀏覽次數(shù)：
- 北京朗潤(rùn)達(dá)科貿(mào)有限公司
- 2017-10-10 11:52:17
- 北京市
- 美國(guó)
- 454
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
5系列產(chǎn)品采用了熱式測(cè)量原理，因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點(diǎn)，且無(wú)需平方根修正。同時(shí)采取了毛細(xì)管取樣方式，具有極低的能耗。每臺(tái)設(shè)備出廠前都會(huì)按照客戶的氣體、量程，嚴(yán)格地按照NIST標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行出廠校準(zhǔn)，同時(shí)，比例調(diào)節(jié)閥嵌入在流體通道內(nèi)，從而保證了精巧的體積。
技術(shù)參數(shù)：
熱式原理
量程：流量計(jì)5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材質(zhì)：接液部位：316L不銹鋼
密封材質(zhì)：標(biāo)配氟橡膠（Viton）；丁納橡膠（Buna）
泄漏率：不超過(guò)1×10 毫升/秒，氦氣
環(huán)境溫度及介質(zhì)溫度：0-60℃
精度：1%FS（包括線性精度）
量程比:100:1
響應(yīng)時(shí)間：1S
重復(fù)性：優(yōu)于0.15%FS
壓力極限：500PSIG
zui大壓降：流量計(jì)：250Pa
控制器：7-14KPa（500SCCM以下）
控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）
電源：24VDC@250mA（流量計(jì)）24VDC@350mA（控制器）
輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）
設(shè)定點(diǎn)信號(hào)：內(nèi)置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）
電氣連接：9針D接口（9 Pin Sub D）
溫度影響系數(shù)：優(yōu)于0.05%FS/℃
壓力影響系數(shù)：優(yōu)于0.01%FS/PSI
標(biāo)準(zhǔn)溫度：21℃
標(biāo)準(zhǔn)壓力：760Torr
重量：流量計(jì)：440g 控制器：460g
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